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半导体、光伏与新型显示
溢泰超纯水设备为半导体行业提供18.2MΩ・cm 级超高纯制程用水全流程解决方案,满足晶圆制造、光刻、蚀刻、清洗、封装测试等制程的水质要求。
关键服务
· 超高纯水制备:深度去除颗粒物、金属离子、TOC、细菌、热源,达到SEMI 标准,保障芯片制程洁净度。
· 关键制程支撑:用于晶圆清洗、显影、蚀刻、化学机械抛光(CMP)、镀膜、封装清洗等工序,直接提升芯片良率与可靠性。
· 稳定连续供水:全自动闭环控制、双路冗余设计,7×24 小时稳定运行,满足晶圆厂不间断生产。
· 洁净与合规:全不锈钢洁净管路设计,符合半导体洁净车间规范,降低微污染与产品失效风险。
· 全周期服务:从系统设计、安装调试、运维托管到耗材更换、水质检测,提供一站式半导体级水处理服务。
一句话总结
溢泰以超高纯度、超高稳定、洁净的超纯水系统,为半导体企业保障制程安全、提升芯片良率、降低污染风险。
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